Oljefri luftkompressor för Semiconductor Labs

För att etablera tillförlitliga verktygslinjer för precisionsforskningsanläggningar, källa från China Oil Free Air Compressor för Semiconductor Labs leverantörer. DECHUANs luftlösningar med hög renhet använder kolisoleringstätningar i flera lager för att eliminera spårkolväten, vilket säkerställer ren gaskvalitet för kritisk kiseletsning.

Kritiska renrumsgasrenhetskrav

Vid halvledartillverkning och tunnfilmslitografi kan till och med en enda mikroskopisk droppe oljeånga som transporteras genom luftledningen förstöra en hel produktionssats. Denna specialiserade produkt är konstruerad för att uppfylla de absolut högsta renhetskraven:

• TÜV-certifierad klass 0 luftleverans: Våra system genomgår rigorösa tester över varierande driftstemperaturer. Oberoende analys bekräftar absolut noll spår av olja i den utgående luftströmmen.

• Korrosionsfria inre luftvägar: Varje bit av rör, kylarbunt och separationsmatris nedströms om kompressionskammaren är gjorda av förstklassigt rostfritt stål för att förhindra rostflingor från att förorena renrumsluftledningarna.

• Avancerad Elektronikon®-integration: Den integrerade styrenheten följer noggrant driftsmått och har proaktiva säkerhetsavstängningar för att säkerställa att ingen oren luft någonsin kommer in i labbnätet.

Den höga kostnaden för mikrokontaminering i elektronik

Vid tillverkning av halvledarwafer kan en enda droppe oljeaerosol förorena en hel renrumsmiljö, förstöra tusentals kiselwafers och orsaka miljontals förlorad produktionstid. Traditionella luftkompressorer kan inte garantera den absoluta noll-kolväterenhet som krävs för dessa processer i nanometerskala.

Den specialiserade oljefria luftkompressorn för Semiconductor Labs garanterar ren processsäkerhet:

• Certifierat KLASS 0 luftflöde: Testat strikt av TÜV över extrema termiska och tryckområden för att säkerställa absolut noll förekomst av olja.

• Partikelfria invändiga delar: Förkylare i rostfritt stål och stjärnfena värmeväxlare eliminerar oxidationsflingor eller kemiskt utsläpp i luftvägen.

• Elektronisk övervakningsskärm: Proaktiva underhållslarm och automatiska felavstängningar förhindrar systemavvikelser innan de når dina renrumsverktyg.

Tekniska renhetsparametrar

• Systemeffektklass: 55kw - 900kw högdensitetskonfigurationer.

• Volumetrisk leveranshastighet: 4,2 - 148,5 m³/min ren ström.

• Oljeinnehållsklassificering: ISO 8573-1 Klass 0 helt oljefri validering.

• Kyllayout: Vätskekylning i rostfritt stål förhindrar kemisk avgasning.

Prestandareferensförhållanden för enheten mättes enligt bilaga C, 4:e upplagan (2009) av ISO 1217:

· Relativ luftfuktighet: 0%

· Absolut inloppstryck: 1 bar

· Inloppstemperatur: 20°C Utsläppshastighet (FAD) mättes vid följande driftstryck:

Typ av konstant hastighet:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10 bar typ: 9 bar

VSD typ:

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Klass A viktad emissionsljudtrycksnivå från arbetsstationen (LpWSAd). Uppmätt enligt ISO 2151:2004 (med 150 9614/2 ljudintensitetsskanningsmetod). Den nyligen tillagda korrigeringsfaktorn är ett helt osäkert värde (KpAd), som överensstämmer med testkoden.

· (3) Vikt är endast för referens; den faktiska tillförda vikten ska gälla.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Enligt ISO 1217 Annex C, 4:e upplagan (2009), är enhetens prestandareferensvillkor som följer:

· Relativ luftfuktighet: 0%

· Absolut inloppstryck: 1 bar

· Inloppstemperatur: 20°C

Deplacement FAD mäts vid följande drifttryck:

Modeller med konstant hastighet:

-7,5 bar modeller: 7 bar

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10 bars modeller: 9 bar

VSD-modeller:

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10,4 bars modeller: 9 bar

(2) Klass A viktad emissionsljudtrycksnivå från arbetsstationen (LpWSAd). Uppmätt enligt ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 ljudintensitetsskanningsmetod). Den nyligen tillagda korrigeringsfaktorn KpAd är osäker och överensstämmer med testkoden.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Vikt är endast för referens; verklig vikt ska råda.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relativ luftfuktighet:0%

-Absolut inloppstryck: 1bar

-Inloppstemperatur: 20°℃

Utsläppshastighet (FAD) mättes vid följande arbetstryck

Typ av konstant hastighet:

-7,5 bar typ: 7 bar

-8,6 bar typ: 7 bar

-10 bar typ: 9 bar

VSD-typ:

-8,6 bar typ: 7 bar

-10,4 bar typ: 9 bar

(2) Klass A viktad emissionsljudtrycksnivå från arbetsstationen (LpWSAd).

Uppmätt enligt ISO 2151:2004 (med 150 9614/2 (ljudintensitetsskanningsmetod).

Den nyligen tillagda korrigeringsfaktorn är ett helt osäkert värde (KpAd), som överensstämmer med testkoden.

(3) Vikt är endast för referens; den faktiska tillförda vikten ska gälla.

ZR 300-750

Prestandareferensförhållanden för enheten mättes enligt bilaga C, 4:e upplagan (2009) av ISO 1217:

· Relativ luftfuktighet: 0%

· Absolut inloppstryck: 1 bar

· Inloppstemperatur: 20°C Utsläppshastighet (FAD) mättes vid följande driftstryck:

Typ av konstant hastighet:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10 bar typ: 9 bar

VSD typ:

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Klass A viktad emissionsljudtrycksnivå från arbetsstationen (LpWSAd). Uppmätt enligt ISO 2151:2004 (med 150 9614/2 ljudintensitetsskanningsmetod). Den nyligen tillagda korrigeringsfaktorn är ett helt osäkert värde (KpAd), som överensstämmer med testkoden.

· (3) Vikt är endast för referens; den faktiska tillförda vikten ska gälla.

ZR 200X-400X

Prestandareferensförhållanden för enheten mättes enligt bilaga C, 4:e upplagan (2009) av ISO 1217:

· Relativ luftfuktighet: 0%

· Absolut inloppstryck: 1 bar

· Inloppstemperatur: 20°C Utsläppshastighet (FAD) mättes vid följande driftstryck:

Typ av konstant hastighet:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10 bar typ: 9 bar

VSD typ:

· -8,6 bar typ: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Klass A viktad emissionsljudtrycksnivå från arbetsstationen (LpWSAd). Uppmätt enligt ISO 2151:2004 (med 150 9614/2 ljudintensitetsskanningsmetod). Den nyligen tillagda korrigeringsfaktorn är ett helt osäkert värde (KpAd), som överensstämmer med testkoden.

· (3) Vikt är endast för referens; den faktiska tillförda vikten ska gälla.

Användarfallsstudie för renrumslaboratoriet

En elektroniktillverkare i Asien installerade DECHUANs specialiserade luftsystem för att leverera slingor för generering av kväve med hög renhet och pneumatiska testarmar. Tidigare tillät standardkompressorer spåroljeångor att migrera förbi inline-filter, belägga litografilinser och orsaka mikrosprickor i waferbeläggningar. Efter installationen av den oljefria luftkompressorn för Semiconductor Labs rapporterade labbet inga oljerelaterade incidenter med ledningsföroreningar, vilket sparade betydande kostnader för rengöring och omkalibrering av renrum under två års kontinuerlig drift.

Skräddarsydda komponenter och kontroll

• Materialuppgradering av rostfritt stål: Vi ersätter alla standardkomponenter i invändigt gjutet stål med högkvalitativt rostfritt stål för att uppfylla strikta riktlinjer för mikrokontamination.

• Avancerade kommunikationsprotokoll: Enheten är förladdad med specialiserade kommunikationsprotokoll, vilket gör det möjligt för renrumskontrollcenter att övervaka luftmätningar på distans.

• Kompakt strukturellt fotavtryck: Den inre layouten är optimerad för att minimera fotavtryck, vilket gör det enkelt att installera i trånga laboratoriekällare.

Vanliga frågor om industriell köpare

F: Kan vi ansluta denna kompressor direkt till filterslingor med ultrahög renhet (UHP)?

S: Ja, vår lufteffekt är helt kompatibel med avancerade torktumlare för renrum och partikelfiltreringssystem med submikron. Eftersom den råa luften inte innehåller någon oljeånga, kommer dina specialfilter på användningsstället inte att bli igensatta av oljedimma, vilket förlänger filtrets livslängd.

F: Hur säkerställer tätningarna av Z-typ ingen oljemigrering från kugghjulsenheten?

S: Den oljefria luftkompressorn för Semiconductor Labs har ett fysiskt atmosfäriskt ventilationsutrymme mellan det oljesmorda växelhuset och den torra kompressionskammaren. Specialiserade beröringsfria kolringstätningar är ihopkopplade med negativa tryckkanaler, vilket säkerställer att all växellådsoljedimma är helt blockerad från att komma in i den rena luftströmmen.

F: Vad händer om en intern temperatursensor upptäcker en onormal avläsning?

S: Elektronikon®-styrenheten samplar vital data flera gånger per sekund. Om en temperaturökning upptäcks i något skede, utlöser systemet omedelbart en automatisk avstängning och stänger isoleringsventilerna, vilket säkerställer att okyld luft aldrig strömmar nedströms in i ditt labbs känsliga utrustning.